API激光干涉儀怎么用

API激光干涉儀怎么用

?首先將激光干涉儀放置于所需測量機器的工作平臺，讓激光照射的方向大致與所測軸運動方向平行。

?打開激光干涉儀下面的磁力座開關(如平臺非鐵件，需安裝一~鐵板以便磁力座更好的吸附)。

?將機器所測量軸移動至近處軟限位位置。

?將1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機器運動狀態下穩定不會晃動的零部件上。(反射鏡與干涉儀均可作為運動測量)

?激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測測量軸在做全程運動時能有效的接收激光照射且不會碰到反射鏡及機器的任意部件。